温区：3 个独立温区控温，每个温区含主控温和和超温保护并可独立控制。
过滤系统：加热、冷却段新风口及运风两侧均配中效过滤器过滤，保证产品表面洁净度2万级以内。
冷却段：冷却段由自然过渡冷却段和强制风冷段组成，自然过渡冷却段长300mm，
强制风冷却段长1300mm，冷却段两侧装中效过滤器，腔内微正压，防粉尘进入污染产品，保证洁净度2万级以内。
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